微观装置的制造及其处理技术
  • 一种超强度微针阵列制造方法与流程
    本发明涉及一种微针阵列,特别是涉及超强度微针阵列制造方法。近年来,随着MEMS技术的飞速发展,微针阵列在生物医学领域的制造和加工不断成熟,微针阵列作为一种微创、经济有效的提高药物输送效率的方法受到广泛关注。但不可避免的存在一些弱点,比如微针的硬度以及表面凹坑问题。发明内容本发明主要解决的技...
  • 一种全玻璃碱金属原子气室的制备方法与流程
    本发明属于精密测量,具体是原子钟、原子陀螺仪、原子光学磁力仪等领域,涉及一种全玻璃碱金属原子气室的制备方法,可用于百微米左右尺寸气室的制备。技术背景作为目前精密测量领域的新技术,原子钟、原子陀螺仪、原子光学磁力仪这些新一代量子传感器都是目前精密测量领域迫切需要的。碱金属原子气室作为这些设备...
  • 环境传感器、环境传感器中间产品和用于制造多个环境传感器的方法与流程
    本发明涉及一种耐介质的环境传感器。本发明还涉及一种环境传感器中间产品。本发明此外涉及一种用于制造多个耐介质的环境传感器的方法。用于测量环境因素的传感器,例如压力、湿度或气体传感器,需要与环境直接接触以便实现其功能。与此相反,当传感器用在例如智能手机或无人机中时,要求保护传感器免受环境影响,...
  • 在前端中在晶片级沉积保护澳门彩票以进行早期颗粒和水分保护的制作方法
    在前端中在晶片级沉积保护澳门彩票以进行早期颗粒和水分保护的制作方法
    本公开总体上涉及半导体器件以及制造该半导体器件的方法,并且更具体地,涉及在前端工艺中在晶片级沉积保护澳门彩票以进行早期保护。在制造半导体器件期间,晶片用作在晶片中以及在晶片上构建的微电子器件的衬底,并且可以经历许多微加工工艺步骤,诸如掺杂或者离子注入、蚀刻、各种澳门彩票的沉积和光刻图案化。最后,单...
  • 微机电系统的制作方法
    本公开涉及一种微机电系统,尤其涉及一种具有声音转换器结构的微机电系统。本公开还涉及具有集成过滤结构的微机电系统。微机电系统(MEMS)可以通过半导体技术制造和/或包括半导体澳门彩票。这些包括例如层或晶片,该层或晶片包括硅澳门彩票、砷化镓澳门彩票和/或其他半导体澳门彩票。MEMS结构可以包括层序列,该层序列...
  • 传感器件及其制造方法与流程
    本发明实施例涉及传感器件及其制造方法。最近开发了微机电系统(MEMS)器件。MEMS器件包括使用半导体技术制造的器件,以形成机械部件和电气部件。在压力传感器、麦克风、致动器、镜子、加热器和/或打印机喷嘴中实施MEMS器件。尽管现有的器件以及形成MEMS器件的方法一般能够满足它们预期的目的,...
  • 在压印光刻工艺中配置光学层的制作方法
    本申请要求2016年12月2日提交的美国临时申请No.62/429,214的申请日的权益。美国申请No.62/429,214的内容通过引用整体并入本文。本发明涉及在压印光刻工艺中配置光学层,更具体地涉及在一个加工工序中在衬底/基板上形成尺寸为不同数量级的特征。纳米制造(例如,纳米压...
  • 用于带帽MEMS装置的垂直塞子的制作方法
    本申请根据35U.S.C.§119(e)要求于2016年11月11日提交的、代理人案卷号G0766.70133US00并且题为“用于带帽MEMS装置的垂直塞子”的美国临时专利申请序列号62/420,893的权益,其全部内容通过引用并入本文。本申请是根据35U.S.C.§120继续要求于2017年7...
  • 一种复杂构型纳米马达的制备方法与流程
    本发明属于纳米,尤其涉及一种复杂构型纳米马达的制备方法。纳米马达是指能够将化学能、光能、声能或其他形式的能量转化为机械运动并完成复杂任务的纳米系统,通常也被称为纳米机器人。它与传统上的处于热力学平衡态、只做布朗运动的胶体颗粒有本质区别。它们的运动和相互作用可比拟于自然界中的细胞或...
  • 一种晶圆级三层结构的封装方法与流程
    本发明涉及半导体制造及微电子器件封装,更具体地,涉及一种晶圆级三层结构的封装方法。随着高集成度、高性能、微型化的需求越来越大,MEMS器件单颗进行封装的成本越来越大,而晶圆级封装,可以大大地提高效率,降低成本。在封装的同时,通过垂向信号引出,可以有效降低电信号互联引入的寄生电容和减...
  • 一种压阻式双轴运动传感器及其制作方法与流程
    本申请涉及微机电系统,具体涉及一种压阻式双轴运动传感器及其制作方法。微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发...
  • 一种感测膜和微机电装置的制作方法
    本发明涉及一种微机电,尤其涉及一种感测膜和微机电装置。微机电装置包括的电容式传感器结构一般为一感测膜搭配一背极,形成两平行板电容板结构以感测振动或压力变化。其中,感测膜的澳门彩票特性决定组件感度性能,但于半导体加工过程所产生的热残留应力无法避免。而现有的制程技术仍无法精准的控制薄膜应力...
  • 选择性刻蚀方法及纳米针尖结构的制备方法与流程
    本发明涉及半导体,具体而言,涉及一种选择性刻蚀方法及纳米针尖结构的制备方法。纳米尺度针尖应用非常广泛,例如扫描隧道显微镜中的隧道扫描电镜的STM探针、医学中的细胞微操作、特种制造业中的微加工等领域,另外纳米针尖阵列可以增加某些光学探测器的比表面积,增加敏感度。纳米针尖的制备常采用电...
  • 微流体致动器的制作方法
    本案关于一种致动器,尤指一种使用微机电半导体薄膜制作的微流体致动器。【】目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业,产品均朝精致化及微小化方向发展,其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体致动器为其关键技术。随着科技的日新月异,流体输送结构的应用上亦愈来愈多元化,...
  • 纳米森林结构的制备方法及纳米森林结构的调控方法与流程
    本发明涉及纳米,具体而言,涉及一种纳米森林结构的制备方法及纳米森林结构的调控方法。纳米森林结构因具有大表体比、多孔隙等特殊表面效应而被广泛应用在生物检测以及光电探测等器件上,其直接影响到器件的工作性能、制备成本以及应用范围。一种制备工艺简单、特性及形貌可控的纳米森林结构可以有效提高...
  • 多参数高通量SERS活性微针的制备方法及活性微针与流程
    本发明属于生物传感,涉及一种SERS活性微针的制备方法及活性微针,尤其涉及一种多参数高通量SERS活性微针的制备方法及活性微针。2002年任等报道了基于针灸针构建钙离子传感针的电化学检测方法。2015年起,ZhangGJ等先后报道了基于针灸针构建多巴胺、5-羟色胺和NO等传感针的...
  • 一种在微型柱子表面上构造单内凹结构的方法与流程
    本发明属于澳门彩票合成,具体涉及一种在微型柱子表面上构造单内凹结构的方法。在表界面浸润领域,所谓的单内凹结构又叫T形结构或者蘑菇头结构,即结构顶部与底部之间存在拐角,当液滴放在该结构表面时,液面呈现悬挂在内凹结构间而非陷入凹坑的状态。因此,具有微型内凹结构的粗糙表面,常常具有很好的排斥...
  • 一种压力传感器的陶瓷绝缘层及其制备方法与流程
    本申请涉及电子,尤其涉及一种压力传感器的陶瓷绝缘层及其制备方法。目前为了使压力传感器具有绝缘性,在压力传感器的弹性体和应变片之间涂一层或多层胶把弹性体和应变计粘接在一起,利用胶的绝缘性使得应变计和弹性体不导通。但胶层涂的太薄,压力传感器的绝缘强度指标就会降低,胶层涂的太厚,压力传感...
  • 具有覆盖结构的MEMS器件结构的制作方法
    相关申请的交叉引用本申请要求于2013年3月11日提交的名称为“MEMSDeviceStructurewithaCappingStructure”的美国临时专利申请第61/775,931号的利益,其全部内容结合于此作为参考。本发明涉及半导体,更具体地,涉及具有覆盖结构的...
  • 一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
    本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规模...
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